Entwicklung, Herstellung, Vertrieb und Verkauf von Einrichtungen im Bereich Halbleitertechnologie und damit zusammenhängenden Gebieten sowie die Erbringung von Dienstleistungen dazu. Die Gesellschaft kann Marken, Patente und andere Immaterialgüterrechte erwerben, verwalten und verwerten sowie Lizenzen gewähren.